Используются для равномерного освещение плоской зеркальной поверхности. При коаксиальном освещении свет направляется к объекту двумя параллельно расположенными пучками. При этом свет падает практически вертикально относительно поверхности образца и обеспечивает равномерное немерцающее освещение. Коаксиальное освещение идеально подходит для исследования углублений, полостей и отверстий, вследствие чего коаксиальное освещение используется в операционной стереомикроскопии. Т.к. свет, направленный вертикально, освещает даже нижнюю область углубления и избавляет от тени, коаксиальное освещение применяется в препарировании. В промышленности коаксиальное освещение может применяться для исследования впадин, углублений в гладких металлических поверхностях или структурированных кремниевых пластин, при контроле качества гладких изделий. Коаксиальный вертикальный осветитель предназначен для исследования таких образцов как интегральные схемы, полупроводниковые пластинки, полированные металлические образцы, магнитные записывающие насадки.